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碳化硅是如何加工的

中科净源碳化硅是用什么加工出来的?碳化硅的加工工艺是什么?
碳化硅的工业生产方法是将石英(56%)、煤焦(35%)、锯末(7%)和食盐(2%)混合在一起,在电阻炉中加热到2200℃左右,食盐的作用是除去石英砂和煤焦中的杂质,而锯末的作用是产生气孔,使生成的气体容易逸出。电炉中间用石墨或碳颗粒堆积成柱状电阻发热体,所配原料紧密填充在发热体四周。烧成的块状晶体经破碎,酸、碱洗涤,然后磁选去除微量的铁,干燥即得碳化硅原料。碳化硅制品可用反应烧结法制造。
将粒度配比合适的α-SiC粉与胶体石墨在瓷球磨筒中均匀混合20h,加入结合剂羧甲基纤维素或聚乙烯醇的酒精溶液,在钢模中成型,压力为50~70Mpa。石墨加入量与素坯密度的关系为:d素=[3.21(1+x)]/(1+3.33x)(x为石墨占碳化硅重量的百分数)。素坯先于40℃下缓慢干燥,再于100℃干燥,然后进行烧结。
在大气压力下碳管炉内,硅粉装在石墨坩埚内,以产生硅蒸气。硅粉颗粒为4.7~1.0mm,硅化温度在2000℃以上。如果在66.6Pa的真空炉中,硅粉需放入氮化硼坩埚里,硅化温度在1500~1600℃。由于蒸发而附着在制品表面的硅可用热的氢氧化钠处理除去,即制得碳化硅制品

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